触摸屏匀胶机
核心功能
- 匀胶工艺精准控制：通过高速旋转（通常可达数千转 / 分钟），将光刻胶、功能涂层等液体材料均匀涂覆在晶圆、基片表面，形成厚度均一、平整度高的薄膜。
- 触摸屏智能操作：配备高清触控界面，可直观设置转速、时间、加速度等工艺参数，支持工艺配方存储与调用，大幅提升操作效率与重复性。
- 真空吸附与温控：内置真空吸附系统确保基片在旋转过程中稳定无偏移；部分机型具备温控功能，可精准控制基片温度以适配不同材料的涂覆需求。
应用领域
- 半导体制造：在晶圆光刻工艺中涂覆光刻胶，为后续曝光、刻蚀步骤奠定基础。
- 微电子封装：用于芯片封装材料的涂覆，保障封装层的均匀性与可靠性。
- 光学器件：制备光学薄膜（如滤光片、光学涂层），满足高精度光学性能要求。
- 科研实验：高校、科研院所用于新材料涂覆工艺开发与性能研究。
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旋涂仪 |
供电电压 |
AC220V,50Hz/60Hz |
操作方式 |
7寸高清LCD触控屏 |
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转速 |
0~10000rpm |
滴胶方式 |
手动滴胶，可选购精密注射泵 |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
匀胶曲线 |
每条曲线5段，共可储存5条曲线 |
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转速分辨率 |
1rpm |
抽气接口 |
φ8mm快拧接口 |
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单步时间 |
3000s |
整机尺寸 |
290mm×365mm×260mm |
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基片尺寸 |
直径≤8英寸(200mm) |
整机重量 |
12kg |
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腔体材质 |
PP工程材料 |
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排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
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抽气速率 |
50L/min |
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供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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匀胶机是半导体、微电子、光学等领域制备薄膜的关键设备，触摸屏匀胶机凭借智能化操作界面与精准工艺控制，成为实验室和产线的优选。
