热蒸发镀膜仪
本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作,具有便于观察镀膜过程,易于清洗的优点;配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空,能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。
产品参数:
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供电电压 |
AC220V,60Hz |
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最大功率 |
800W |
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样品台 |
直径φ70mm;可旋转,转速1-20rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm |
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石英腔体 |
0.Dφ180mmxl.Dφ166mmx215mm |
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蒸发源 |
钨丝篮/钨舟 |
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最高温度 |
1700℃ |
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热电偶 |
B型热电偶,工作温度200℃~1500℃ |
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真空计 |
电阻式真空规 |
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真空泵 |
双级旋片真空泵 |
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真空接口 |
KF25 |
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进气接口 |
1/4NPS |
本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪,可提供最大100A的镀膜电流,最大蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作,具有便于观察镀膜过程,易于清洗的优点;配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空,能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。
